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MMA 全自动桥式工具测量显微镜

MMA大行程系列测量显微镜采用NIKON原装倾斜式三目镜筒,五段变倍鼻轮(可选自动变倍鼻轮)。提供超高清晰度测量画面,配以0.0001mm分辨率金属光栅实现更高的测量精度,同时Z轴采用图像处理方式实现Z轴精准对焦测高,10X及以上物镜对焦重复性≤0.002mm,100X物镜对焦重复性≤0.001mm。

适用于半导体封装、焊接贴片、环路高度、FPD面板(LCM)、晶片级CSP等领域。

升级扩展选项:
A、DIC微分干涉模块;
B、荧光模块。

机型参数:


 仪器型号/仪器参数MMA650CNC MMA800CNC MMA1000CNC
仪器重量/kg 1600 1800 2000
外型尺寸L*W*H 1400*1150*1050 1550*1150*1050 1720*1395*1055
测量范围(mm) X 600 600 800
 Y 650 800 1000
 Z 100 100 100
工作台(mm)大理石台面 1400×1100 1500×1100 1670×1300
 玻璃台面 748×718 898×718 1098*918
 承重 50kg 50kg 50kg
影像及测量系统
 
 CCD 德国映美精1/3"彩色CCD,130万像素
 光学头 日本尼康原装倾斜三目镜筒+五段变倍鼻轮(可选自动变倍鼻轮)
目镜 CFI 10X
 物镜 5X、10X、20X、50X、100X(倍率可选)
光栅尺分辨率 0.0001mm
 测量精度(um) X、Y线性精度:1.6+L/200    X-Y矢量精度:2+L/200 Z轴对焦精度≤0.002mm(10X及以上物镜)
 照明光源 LED同轴落射光源+LED平行透射光源
 工作电源220v±10%(AC)  50Hz (注:需有电阻≤4Ω接地线)
 工作环境 温度:18~24℃、相对湿度:30~75%、远离振源



 备注:特殊配置机型不在此列

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